應(yīng)用于產(chǎn)品表面活化/清洗、蝕刻、去膠、通過(guò)其處理，能夠改善材料表面的浸潤(rùn)能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。
產(chǎn)品詳情
半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，醫(yī)療，印刷線路板，汽車電子，航天航空等。
1. 在線式連續(xù)生產(chǎn)與上下道工序無(wú)縫銜接，減少人工搬運(yùn)，降低成本和出錯(cuò)率；
2. 真空條件可控性強(qiáng)，工藝參數(shù)（氣壓、氣體成分、功率等）易于精確調(diào)控和重復(fù)，保證批次間穩(wěn)定性；
3. 處理均勻性高：設(shè)計(jì)良好的電極和腔室結(jié)構(gòu)，配合氣體流場(chǎng)控制，可實(shí)現(xiàn)大面積、復(fù)雜形狀工件的均勻處理；
4. 高可靠性：工業(yè)級(jí)設(shè)計(jì)，關(guān)鍵部件（如真空泵、射頻/微波源、匹配器）選用高品質(zhì)產(chǎn)品，確保長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行的穩(wěn)定性和可靠性；
5. 適應(yīng)復(fù)雜工件： 通過(guò)設(shè)計(jì)合理的工裝夾具和傳送系統(tǒng)，可以處理平面、3D曲面、不規(guī)則形狀的工件。
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序號(hào) |
項(xiàng)目 |
參數(shù) |
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1 |
外形尺寸 |
2140（W）×1340（D）×1760(H)mm |
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2 |
反應(yīng)倉(cāng)尺寸 |
320(W)×610(D)×50(H）mm |
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3 |
等離子體發(fā)生器 |
頻率13.56MHz，功率0-600W可調(diào)，自動(dòng)阻抗匹配 |
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4 |
氣路系統(tǒng) |
標(biāo)準(zhǔn)配置2路（O2\Ar/H2），質(zhì)量流量計(jì)控制，氣體流量0-200ml/min可調(diào) |
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5 |
控制系統(tǒng) |
觸摸屏+PLC全自動(dòng)控制 |
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6 |
料片尺寸 |
長(zhǎng)150-270mm，寬35-95mm |
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7 |
效率 |
4道4片，約500片/小時(shí) |
